FESTO真空安全閥形成振動的過程是：當真空安全閥的工作壓力按設計要求調節(jié)，即調到超過油壓設備的工作油壓上限值3～4kg/cm2時，排油孔全開。YS-2.5型油壓設備工作油壓的上限值（額定油壓）為25kg/cm2。真空安全閥工作壓力則調到28～29kg/cm2，排油孔全開。油泵在壓力油箱的油壓升至額定油壓（25kg/cm2）時，油泵停機，即切斷電源。

這時進油管道之壓力已略大于25kg/cm2。由于油泵的停機，進油管道的進口，油泵附近形成低壓區(qū)，管道內的壓力油向低壓區(qū)倒流，低壓區(qū)以很快的速度向進油管道中心傳遞。此時，油泵雖已切斷電源，則由于慣性，仍在以很大的遞減速度在旋轉，趨動油所形成的壓力峰也滯后低壓區(qū)向進油管道中心傳遞。與此同時，進油管道出口，靠近壓力油箱管道內的壓力油，在慣性力作用下，仍繼續(xù)流進壓力油箱。

當慣性力耗盡，壓力油箱的壓力高于管道油壓，止回閥回復，和止回閥未回復到位，一部分油產生倒流所形成的壓力峰與油泵仍在趨動油所形成的壓力峰反向，向進油管道中心傳遞，在進油管道中心某處必然相碰，所形成的雙向油錘之壓力必定遠遠超過真空安全閥的工作壓力（兩壓力峰相碰之處并不一定在真空安全閥處，真空安全閥離兩壓力峰相碰的遠近正是真空安全閥振動有強弱區(qū)別的原因）。

雙向油錘所形成的巨大壓力是一個波峰，使排油腔活塞以很大的速度壓縮彈簧將排油孔全部打開。由于壓力峰過后是壓力低谷，并且壓力峰對彈簧的大幅度壓縮，所形成的彈簧彈力也大。排油腔活塞在受到巨大下壓力情況之下，快速沖擊閥體。始而復返，這就是真空安全閥形成振動的全過程，反振動強度即是沖擊波的強度，其振動頻率正是沖擊波的頻率。　　

由于油泵停機后，慣性所要克服的阻力很大，轉速的大幅度下降，趨動油形成壓力峰的能力越來越小，反壓力油箱的止回閥的一開、一關，逐漸趨近全關閉，所形成的壓力峰也越來越小，所以振動性質為衰減振幅，其實整個振動過程僅幾秒鐘。